Optikai hullámvezetők készítése ionimplantáció segítségével

Absztrakt

Annak érdekében, hogy az optoelektronikai eszközöknél az optikai komponenseket miniatürizálni lehessen, újfajta módszereket kellett kifejleszteni azok gyártásához. Vannak azonban olyan anyagok, amelyeknek optikai tulajdonságai nagyon kedvezőek lennének, de a jelenlegi módszerekkel nem lehetséges azok használata, ugyanis fizikai vagy kémiai károsodást szenvednek a gyártási folyamat során. Az ilyen anyagoknál megfelelő alternatívát jelenthet az ionok implantációján alapuló módszer. A nagy energiájú ionokkal történő besugárzás ugyanis bizonyítottan megváltoztatja az anyag optikai és szerkezeti tulajdonságait. Ezzel lehetőség nyílik például optikai hullámvezetők létrehozására, ha egy előre meghatározott területét sugározzuk be a mintának. Ez történhet úgy, hogy egy előre elkészített speciális szili-konmaszk segítségével rajzoljuk ki a kívánt geometriát, vagy mikronyaláb használatával közvetlenül is beleírható a mintába a megfelelő alakzat. Ebben a cikkben az említett két módszerrel kapcsolatos legutóbbi eredményeket tekintjük át.